PT2000-450L
設(shè)備的工作參數(shù)是由放電功率、進(jìn)氣量、處理時(shí)間、腔體內(nèi)溫度等組成，主要性能如下：
|
項(xiàng)目
|
性能參數(shù)
|
|
設(shè)備總重
|
約900Kg
|
|
額定功率
|
額定功率3KW,峰值功率12KW
|
|
處理層數(shù)
|
13層
|
|
腔體容積
|
長(zhǎng)X寬X高=800mmX700mmX900mm
|
|
單層處理最大面積
|
長(zhǎng)X寬=850mmX600mm 約0.5M
|
|
單層處理最大面積
|
6.5M
|
|
單層處理時(shí)間
|
10-20分鐘
|
|
處理真空度
|
30-100Pa 可調(diào)
|
|
可抽極限壓力
|
4.0X10Pa
|
|
抽真空時(shí)間
|
約一分鐘
|
|
等離子發(fā)生器功率
|
2-6KW 可調(diào)
|
|
等離子發(fā)生器頻率
|
40KHz＋100Hz
|
|
流量計(jì)調(diào)節(jié)范圍
|
0-1000毫升/分鐘 可調(diào)
|
|
溫度調(diào)節(jié)范圍
|
20-200°C 可調(diào)
|
